FFU相对于实验室净化有哪些优点 它有几种类型

admin 2019-11-09 09:09:36 208阅读


现在的实验(experiment)室净化大都是由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道这几个部分构成,实验室净化大都是通过FFU来处理空气。具体的方法是由FFU提供循环(continue)空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器(作用:过滤杂质等)送入工艺层和工艺辅助层,实验室净化的静压层相对于工艺层为负压。那么你知道FFU相对于实验室净化有哪些优点吗?它又分为哪几种类型?下面为大家一一解答。
实验(experiment)室净化中FFU集成电路设计优点:洁净室面积可扩大、洁净等级高、温湿度控制(control)精度(精确度)高等多数洁净室要求环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等。洁净实验室包括技术和设备的更新,研究人员增加和现有研究员的能力提高等。实验室建设原则是满足实验室工作业务流程的优化及日常管理等方面的需要。设计主要考虑实验室的工艺流程、特殊实验室和功能间的位置选择、建筑物内上层和下层的具体环境、建筑结构等因素。FFU集成电路系统刚好可以最大化满足这些要求。
实验(experiment)室净化按照回风特点分为三个系统:
1.FFU循环(continue)系统;
2.循环空调机配合高效送风口系统;
3.循环(continue)风机配合湿式密封系统和。
FFU集成电路系统的三种类型
1.最适合半导体(semiconductor)制造业的FFU循环(continue)系统
FFU循环(continue)系统不仅节省(spare)运行空间、洁净度安全性(security)高、运行成本低,而且有很高的操作灵活性,在不影响生产(Produce)的情况下可以随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体(semiconductor)制造企业的需求。
2.最适合小规模洁净室的FFU循环(continue)系统
在小规模低等级要求的实验室净化设计中被广泛(extensive)应用,对于大面积高等级的实验室净化则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
3.全能型FFU循环(continue)系统
这种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求,但这项洁净工程系统的运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难(difficult),系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。核酸实验室根据科研、生产、生活、消防等方面用水对水质、水温、水压和水量的要求,结合室外给水系统等因素,从技术经济指标上比较后确定。用水定额、水压、水质、水温及用水条件,应按工艺要求确定。水管由土建方通过预埋管铺设在地板下面,引到中央台指定位置;对于边台,水管由土建方埋设在墙里引到指定位置。其余工作由实验室建设单位完成。疾控实验室正确的实验室供排气的解决方案是把实验室的供排气看作一个系统。这个系统要考虑到安全性、便利性、日常实验室的管理、气瓶的更换等问题,同时要重点考虑实验室今后的发展,对于特殊气体还要考虑特殊的技术解决方案。

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